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            高速3D激光共聚焦顯微鏡

            簡要描述:NS3600 高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司生產的一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有優越的解決方案。?NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測量時無需與樣品表面接觸即可獲

            • 產品型號:NS3600
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-08-19
            • 訪  問  量:1212

            詳細介紹

            NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

            NS-3600是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

            Features & Benefits(性能及優勢):

            • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

            • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

            • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

              大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

            • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

            • 自動聚焦

            Software (軟件):

            Application field(應用領域):

            NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

            可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

            -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

            - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

            - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

            -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

            -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析



            Specifications(規格)

            Model

            Microscope                         NS-3600

            備注

            物鏡倍率

            10x

            20x

            50x

            100x


            觀察/  測量范圍  

            水平 (H): μm

            1400

            700

            280

            140


            垂直 (V): μm

            1050

            525

            210

            105


            WD: mm

            16.5

            3.1

            0.54

            0.3


            數值孔徑(N.A.)

            0.30

            0.46

            0.80

            0.95


            觀察/測量光學系統  

            針孔共聚焦光學系統


            高度測量

            測量掃描范圍

            10mm


            顯示分辨率

            0.001 μm


            重復率 σ

            0.02 μm

            注1

            寬度測量

            顯示分辨率

            0.001 μm


            重復率 3σ

            0.03 μm

            注 2

            幀記憶

            像素

            1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


            單色圖像

            12 bit


            彩色圖像

            8-bit for RGB each


            高度測量

            16 bit


            幀速率

            表面掃描

            20 Hz to 160 Hz


            線掃描

            ~8 kHz


            激光接收元件

            PMT (光電倍增管)


            激光

            波長

            638nm (2mW)


            光學觀察照相機

            成像元件

            彩色圖像 CCD 傳感器


            記錄分辨率

            1296x966


            數據處理單元

            PC


            電源

            電源電壓

            100 to 240 VAC, 50/60 Hz


            電流消耗

            500 VA max.


            重量

            顯微鏡

            大約. ~50 kg

            (測量頭大約: ~12 kg)


            控制器

            ~8 kg


            隔振系統

            氣浮隔振

            Option


            注1:100次測量標準樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

            注2:100次測量標準樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。



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