咨詢熱線

13761090949

當前位置:首頁   >  產品中心  >  光學顯微鏡  >  激光共聚焦顯微鏡  >  NS3600高速3D激光共聚焦顯微鏡

高速3D激光共聚焦顯微鏡

簡要描述:NS3600 高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司生產的一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有優越的解決方案。?NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測量時無需與樣品表面接觸即可獲

  • 產品型號:NS3600
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-08-19
  • 訪  問  量:2297

詳細介紹

NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3600是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits(性能及優勢):

  • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

  • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

  • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

  • 自動聚焦

Software (軟件):

Application field(應用領域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析



Specifications(規格)

Model

Microscope                         NS-3600

備注

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x


觀察/  測量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


WD: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


數值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


觀察/測量光學系統  

針孔共聚焦光學系統


高度測量

測量掃描范圍

10mm


顯示分辨率

0.001 μm


重復率 σ

0.02 μm

注1

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm


重復率 3σ

0.03 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線掃描

~8 kHz


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


激光

波長

638nm (2mW)


光學觀察照相機

成像元件

彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

1296x966


數據處理單元

PC


電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流消耗

500 VA max.


重量

顯微鏡

大約. ~50 kg

(測量頭大約: ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系統

氣浮隔振

Option


注1:100次測量標準樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

注2:100次測量標準樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。



產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

聯系我們

上海巨納科技有限公司 公司地址:上海市虹口區寶山路778號海倫國際大廈5樓   技術支持:化工儀器網
  • 聯系人:袁文軍
  • QQ:494474517
  • 公司座機:86-021-56830191
  • 郵箱:yuanwenjun@sunano.com.cn

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼

给娇妻安排又粗又大玩3