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            當前位置:首頁   >  產品中心  >  光學顯微鏡  >  激光共聚焦顯微鏡  >  NS3500 L大面積高速3D激光掃描儀

            大面積高速3D激光掃描儀

            簡要描述:NS-3500大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

            • 產品型號:NS3500 L
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2021-09-24
            • 訪  問  量:1796

            詳細介紹

            NS-3500L大面積高速3D激光掃描儀是一種準確、可靠的大面積高速3D激光掃描儀。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

            Features & Benefits(性能及優勢):

            高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

            實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

            多種光學變焦                                                 雙Z掃描

            大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

            實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

            自動聚焦

            Application field(應用領域):

            NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

            可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

            -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

            - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

            - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

            -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

            -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析




            Specification(規格):

            Model

            Microscope  NS-3500

            備注


            Controller    NS-3500E

            物鏡倍率

            10x

            20x

            50x

            100x

            150x


            觀察/  測量范圍  

            水平 (H): μm

            1400

            700

            280

            140

            93


            垂直 (V): μm

            1050

            525

            210

            105

            70


            工作范圍: mm

            16.5

            3.1

            0.54

            0.3

            0.2


            數值孔徑(N.A.)

            0.30

            0.46

            0.80

            0.95

            0.95


            光學變焦

            x1 to x6


            總放大倍率

            178x to 26700x


            觀察/測量光學系統  

            針孔共聚焦光學系統


            高度測量

            測量掃描范圍

            精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]


            長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

            顯示分辨率

            0.001 μm


            重復率 σ

            0.010 μm

            注 1

            寬度測量

            顯示分辨率

            0.001 μm


            重復率 3σ

            0.02 μm

            注 2

            幀記憶

            像素

            1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


            單色圖像

            12 bit


            彩色圖像

            8-bit for RGB each


            高度測量

            16 bit


            幀速率

            表面掃描

            20 Hz to 160 Hz


            線掃描

            ~8 kHz


            自動功能

            自動增益


            激光共焦測量光源

            波長

            405nm


            輸出

            ~2mW


            激光等級

            Class 3b


            激光接收元件

            PMT (光電倍增管)


            光學觀察光源

            10W LED


            光學觀察照相機

            成像元件

            1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


            記錄分辨率

            640x480


            自動調整

            增益, 快門速度, White balance


            數據處理單元

            PC


            電源

            電源電壓

            100 to 240 VAC, 50/60 Hz


            電流消耗

            500 VA max.


            重量

            顯微鏡

            Approx. ~50 kg

            (Measuring head unit : ~12 kg)


            控制器

            ~8 kg



            注 1 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量                                                                  

            注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量。





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