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  • ICP-LP-PE-CVD多功能寬密度等離子體

    NextCVD等離子體改性及刻蝕多功能寬密度等離子體國內的電感耦合等離子體都是基于中頻13.56MHz的電源發生器,等離子體密度較低,而且是螺旋管式,主要用于等離子體刻蝕,不適宜用于沉積高質量薄膜。

    訪問次數:2082
    產品價格:面議
    廠商性質:生產廠家
    更新日期:2021-09-24
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